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深圳市帝研科技有限公司

生产各种高精密单、双面研磨设备、平面抛光设备、高速减薄设备、3D磨抛设备及其配...

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专业研发生产各类高速硅片减薄机
产品: 浏览次数:0专业研发生产各类高速硅片减薄机 
品牌: 帝研
单价: 1.00元/台
最小起订量: 1 台
供货总量: 100 台
发货期限: 自买家付款之日起 20 天内发货
有效期至: 长期有效
最后更新: 2018-06-12
 
详细信息
 
主要用途:
本设备主要用于蓝宝石衬底、硅片、陶瓷片光学玻璃、石英晶体、其它半导体等非金属和金属的硬脆性材料薄形精密零件的调整减薄。
设备特点:
1. 设备可检测磨削扭力、自动调节工件磨削速度,从而防止磨削过程中因压力过大产生变形及破损,自动补偿砂轮磨损 厚度尺寸,可鸽直径150晶片减薄到0.08mm厚而不会破碎,而且平衡度可控制 在上下0.002mm范围内 。
2. 减薄效率高,LED蓝宝石衹第分钟磨削速度**高可减薄-48微米。硅片第分钟磨削速度**高可被减薄250微米。
3.吸盘根据客户的工艺要求可分为电磁吸盘和真空吸盘,吸盘大小可根据客户需求定制,直径320mm-600mm。
4.砂轮主轴采用精密的调整旋转电主轴,驱动方式为变频调速转速可以根据不同的工艺要求由OLC控制系统支持的驱动模式而相应改变转速3000-8000转可调。
5.砂轮进给模式三段设置,能更方便地设置有效的减薄方案,提高减薄后的精密度和表面效果。
6.对刀方式 改变砂轮和吸盘的情况下,针对不同的厚度的工件只需要一次对刀就可以连续工作。不需要每次都要对刀。
7.本机采用高精密丝杆及导轨组件,驱动方式是伺服驱动,可根据不同的材质的工件及工艺要求由PLC控制的驱动模式面相应的改变丝杆的转速,也就是砂轮的进刀速度,速度0.001-5mm/min可调,控制进给精密度高分辨率光栅尺检测。
8.本机采用**的**品牌PLC和触摸屏,自动化程度高,实现人机对话,操作简单一目了然。

吸盘规格

Φ320xΦ600

主电机

2.2KW/0·280RPM

砂轮规格

Φ150xΦ210

砂轮进给伺服主机

750W

减薄工件厚度b

0.8mm≤b≤50mm

高速旋转主轴

4KW/3000-8000RPM

减薄平行度

2um(50x50)

砂泵电机/冷却电机

AB-100  250W

研磨工件理想规格

Φ50

光栅控制系统

分辨率0.001mm

磨轮重复定位精准

3um

工作工位

依据产品而定

外形尺寸LxWxH

1150x200x1750mm

设备重量

700KG

询价单
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